近日據(jù)韓媒ITNews報道，韓國半導體材料企業(yè)Dongjin Semichem（東進半導體）在最近自主開發(fā)并商業(yè)化的EUV光刻膠中發(fā)揮了核心作用，并已開始了無機EUV光刻膠的開發(fā)。

圖：東進半導體華城園區(qū)

芯片大師曾報道被日本“卡脖”3年后，韓國突破了EUV光刻膠，由于三星將該產(chǎn)品用于實際的半導體生產(chǎn)，東進半導體成為韓國第一家將EUVPR國產(chǎn)化至量產(chǎn)水平的公司。

目前，東進半導體已開始開發(fā)基于無機 (MOR) 的極紫外 (EUV) 光刻膠 (PR)，這是下一代半導體超精細加工必不可少的材料。同時，日本的光刻膠大廠JSR也正在開發(fā)MOR PR，旨在成為世界領(lǐng)先者。

由于與有機（CAR）PR相比，MOR PR在光吸收方面是一種更優(yōu)異的材料，因此有望用于超精細半導體的生產(chǎn)線，而光刻膠是應用于晶圓以實現(xiàn)半導體電路的關(guān)鍵材料。

據(jù)悉，日本JSR的子公司Inpria正在開發(fā)無機PR，目標是成為世界上第一個量產(chǎn)它的公司。Inpria是一家成立于2007年的美國無機化學公司，于2021年被JSR收購，隨后日本JSR開始準備向三星電子、SK海力士、臺積電、英特爾等公司供應無機PR，用于內(nèi)存和系統(tǒng)半導體制造。

東進半導體在2019年日本出口管制后，一直在推動EUV PR的發(fā)展。通過與三星電子的合作，東進半導體成功地將EUV PR應用于半導體生產(chǎn)線，此外還有氟化氪（KrF）、氟化氬（ ArF）光刻膠。

為響應韓國國內(nèi)的PR需求，東進在京畿道華城工廠投資1,127億韓元。由于三星電子使用了東進半導體的EUV PR，因此提出了在無機EUV PR上的合作潛力，SK海力士也對無機光刻膠表現(xiàn)出興趣。