據(jù)半導體行業(yè)觀察報道，中國長城旗下鄭州軌道交通信息技術(shù)研究院成功研發(fā)了支持5nm DBG工藝的全自動12寸晶圓激光開槽設備。

圖源：中國長城

芯片大師了解到，晶圓激光開槽設備應用于半導體封裝環(huán)節(jié)。該設備除了具備常規(guī)激光開槽功能之外，還支持5nm DBG工藝、120微米以下超薄wafer全切割功能、晶圓廠IGBT工藝端相關制程和TAIKO超薄環(huán)切等各種工藝。

據(jù)中國長城介紹，鄭州軌交院研發(fā)的晶圓激光開槽設備采用模塊化設計，可支持不同脈寬（納秒、皮秒、飛秒）激光器。通過自主研發(fā)的光學系統(tǒng)，可實現(xiàn)光斑寬度及長度連續(xù)可調(diào)，配合超高精度運動控制平臺等技術(shù)，與激光隱切設備相輔相成，解決了激光隱切設備對表面材質(zhì)、厚度、晶向、電阻率的限制，實現(xiàn)工藝的全兼容，有助于控制產(chǎn)品破損率、提高芯片良率。