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據(jù)報(bào)道,韓國(guó)用于半導(dǎo)體制造工藝的本土氖氣生產(chǎn)和供應(yīng)預(yù)計(jì)將于2022年下半年開(kāi)始。
“我們準(zhǔn)備從下半年開(kāi)始向半導(dǎo)體制造商供應(yīng)氖氣,”TEMC于2月28日表示。這種氣體構(gòu)成了用于半導(dǎo)體曝光的準(zhǔn)分子激光氣體,其在空氣中的含量低至 0.00182%。
目前,韓國(guó)對(duì)進(jìn)口氖氣的依存度為100%。自俄烏沖突爆發(fā)以來(lái),氖氣等惰性氣體的采購(gòu)已成為韓國(guó)嚴(yán)重關(guān)切的問(wèn)題。
兩家韓國(guó)企業(yè)TEMC和POSCO最近建設(shè)了高純氖氣生產(chǎn)設(shè)備,設(shè)備年產(chǎn)能約為22,000立方米,相當(dāng)于國(guó)內(nèi)需求的16%。兩家公司還在研究其他稀有氣體,包括氪和氙,用于進(jìn)口替代。
2021年,韓國(guó)的氖氣進(jìn)口包括23%來(lái)自烏克蘭和5%來(lái)自俄羅斯,氪氣的百分比分別為31%和17%,氙氣的百分比為18%和31%。