據(jù)ASML官方公告,目前可以確認(rèn)沒有人員傷亡,但具體的損失情況還不確定。ASML公司在給媒體發(fā)布的聲明中指出,評估損失需要幾天時間,現(xiàn)在就提出是否影響今年業(yè)績或者就損害索賠等問題還為時尚早。
起火的公司前身是Berliner Glas,該公司于2020年被ASML公司收購,年營收為2.3億歐元,主要為ASML光刻機(jī)制造光學(xué)系統(tǒng)——包括“晶圓臺、標(biāo)線卡盤和反射鏡塊”,是光刻機(jī)的三大核心部件之一。
作為ASML的前三大客戶,若火災(zāi)造成光刻機(jī)交貨出現(xiàn)問題,臺積電、英特爾和三星的工藝升級和產(chǎn)能擴(kuò)張勢必受到影響。據(jù)臺媒報道,臺積電當(dāng)日股價大漲3.49%,有消息稱臺積電多數(shù)訂購的ASML機(jī)臺已經(jīng)陸續(xù)到貨。
2021年10月底,ASML發(fā)布了Q3財報,凈銷售額52億歐元(約合386億元),毛利率51.7%,凈利潤17億歐元(約合126億元)。
其中,EUV光刻機(jī)系統(tǒng)的訂單量達(dá)到了29億歐元,且當(dāng)季的出貨量和收入創(chuàng)下歷史新高。目前,ASML主力EUV(極紫外)光刻機(jī)是TWINSCAN NXE:3600D,創(chuàng)造了每小時加工160片晶圓的最高紀(jì)錄。
DUV(深紫外)光刻機(jī)方面,完成出貨1000臺ArF(氟化氬浸沒式光刻系統(tǒng)),這距離第一臺浸沒式光刻機(jī)(XT:1700Fi)出貨過去了15年。