圖:一個ASML光刻系統(tǒng)的完整構成
圖:EUV光刻依賴超高強度的激光系統(tǒng)
圖:EKSPLA的高強度激光系統(tǒng)
圖:德國通快、ASML等研發(fā)的EUV激光系統(tǒng)
憑借在科學和工業(yè)領域獨步天下的納秒、皮秒激光器和高強度激光系統(tǒng),EKSPLA成為德國通快集團的激光源供應商,而后者正是ASML EUV光刻機激光系統(tǒng)的唯一供應商。
而立陶宛另一家定位民用的重量級激光企業(yè)——來特激光(Light Conversion)則占據(jù)了全球80%以上的飛秒激光器市場,換言之,不論在民用、工業(yè)還是科研領域,立陶宛都牢牢卡住了激光這個關鍵環(huán)節(jié)。
那么,立陶宛背后的激光巨頭EKSPLA和激光產(chǎn)業(yè)能卡我們的脖子嗎?
圖:中國主要激光企業(yè)(前瞻)
根據(jù)公開數(shù)據(jù),我國兩大光刻機研究機構長春光機所和上海光機所都在進行專門的激光器件和設備研究,部分民用領域如機床、數(shù)控技術和激光工藝方面已達到國際先進水平。
華工科技先進固體激光器等領域在國內(nèi)均處于絕對的領先地位,但與國際企業(yè)在中大功率領域還有明顯差距。如國產(chǎn)光纖激光器的龍頭銳科激光,在國內(nèi)萬瓦級高功率光纖激光器方面處于主導地位,并已實現(xiàn)核心光學器件100%國產(chǎn)化。
但也應該看到,我國在技術上缺乏在高強度激光源、超快激光器等領域的突破,意味著暫時無法支撐最尖端的前沿基礎科學和應用。而激光一旦被卡,在國內(nèi)已有產(chǎn)業(yè)基礎的情況下,反而能倒逼技術和國產(chǎn)化率的提升,不妨拭目以待。